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SEM全稱Scanning Electron Microscope,即掃描電鏡,是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。想要了解SEM表征檢測(cè)主要檢測(cè)的什么,需要先了解SEM,如SEM掃描電鏡的工作原理,其主要檢測(cè)哪些內(nèi)容,檢測(cè)的樣品是哪些,樣品分別都有什么需求。
SEM檢測(cè)的工作原理
SEM掃描電鏡是一種介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀觀察手段,能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能來(lái)進(jìn)行微觀成像。其原理是當(dāng)具有一定能力的電子束轟擊樣品表面的時(shí)候,電子與物質(zhì)元素的原子核以及外層的電子產(chǎn)生了單次或者多次的碰撞,一些電子反射出樣品的表面,而一部分則滲入樣品中,被樣品所吸收。在該過(guò)程當(dāng)中,大部分的電子能量會(huì)轉(zhuǎn)換成樣品熱能,而剩下的則會(huì)在其中激發(fā)出各種信號(hào)。
SEM表征檢測(cè)的應(yīng)用范圍
SEM表征檢測(cè)可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價(jià)態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。SEM一般通過(guò)組合EDS使用,可利用EDS進(jìn)行元素成分定性、定量分析。用來(lái)觀測(cè)芯片內(nèi)部層次和測(cè)量各層厚度、觀測(cè)并拍攝局部異常照片和測(cè)量異常尺寸、測(cè)量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污染物的化學(xué)元素組成。
SEM樣品的要求
1、粉末樣品基本要求
?。?)單顆粉末尺寸最好小于1μm;
(2)無(wú)磁性;
(3)以無(wú)機(jī)成分為主,否則會(huì)造成電鏡嚴(yán)重的污染,高壓跳掉,甚至擊壞高壓槍;
2、塊狀樣品基本要求
?。?)需要電解減薄或離子減薄,獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察;
?。?)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等機(jī)械方法制成粉末來(lái)觀察;
?。?)無(wú)磁性。
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